由于普通罗茨真空不能单独使用必须配备前级泵，可采用往复式真空泵、油封式真空泵、液环式真空泵等作为前级泵。因此罗茨真空泵可以使用在真空度为0.01 pa～5000pa左右的任何真空处理工艺上。 一般对于可单独使用的真空泵，在单独使用时该真空泵就是主泵；对于罗茨真空泵机组而言，可分为主泵和前级泵，所谓主泵就是与系统直接相连的真空泵，通常罗茨真空泵为主泵，它在对系统抽真空时起主要作用。前级泵是指其进气口与主泵直接相连，排气口与大气直接相连的泵为前级泵，前级泵的作用是必须及时将主泵排出的气体抽掉并排入大气。
②干式真空泵：它是一种不用油类（或液体）密封的变容真空泵。 ③液环式真空泵：带有多叶片的转子偏心装在泵壳内，当它旋转时，把液体（通常为水或油）抛向泵壳形成泵壳同心的液环，液环同转子叶片形成了容积周期变化的几个小容积，故亦称旋转变容真空泵。 ④罗茨真空泵：泵内装有两个相反方向同步旋转的双叶形或多叶形的转子，转子间、转子同泵壳内壁之间均保持一定的间隙。它属于旋转变真空泵。机械增压泵即为这种型式的真空泵。 2）动量传输泵 这种泵是依靠高速旋转的叶片或高速射流，把动量传输给气体或气体分子，使气体连续不断地从泵的入口传输到出口。具体可分为下述几种类型。
这种泵是一种使气体分子被吸附或凝结在泵的内表面上，从而减小了容器内的气体分子数目而达到抽气目的的真空泵，有以下几种型式。 1）吸附泵 它主要依靠具有大表面的吸附剂（如多孔物质）的物理吸附作用来抽气的一种捕集式真空泵。 2）吸气剂泵 它是一种利用吸气剂以化学结合方式捕获气体的真空泵。吸气剂通常是以块状或沉积新鲜薄膜形式存在的金属或合金。升华泵即属于这种型式。 3）吸气剂离子泵 它是使被电离的气体通过电磁场或电场的作用吸附在有吸气材料的表面上，以达到抽气的目的。它有如下几种型式。
