由于普通罗茨真空不能单独使用必须配备前级泵，可采用往复式真空泵、油封式真空泵、液环式真空泵等作为前级泵。因此罗茨真空泵可以使用在真空度为0.01 pa～5000pa左右的任何真空处理工艺上。 一般对于可单独使用的真空泵，在单独使用时该真空泵就是主泵；对于罗茨真空泵机组而言，可分为主泵和前级泵，所谓主泵就是与系统直接相连的真空泵，通常罗茨真空泵为主泵，它在对系统抽真空时起主要作用。前级泵是指其进气口与主泵直接相连，排气口与大气直接相连的泵为前级泵，前级泵的作用是必须及时将主泵排出的气体抽掉并排入大气。
⑴分子真空泵：它是利用高速旋转的转子把能量传输给气体分子，使之压缩、排气的一种真空泵。它有如下几种型式： ①牵引分子泵：气体分子与高速运动的转子相碰撞而获得动量，被送到出口，因此，是一种动量传输泵。 ②涡轮分子泵：泵内装有带槽的圆盘或带叶片的转子，它在定子圆盘（或定片）间旋转。转子圆周的线速度很高。这种泵通常在分子流状态下工作。 ③复合分子泵：它是由涡轮式和牵引式两种分子泵串联组合起来的一种复合式分子真空泵。 ⑵喷射真空泵：它是利用文丘里（Venturi）效应的压力降产生的高速射流把气体输送到出口的一种动量传输泵，适于在粘滞流和过渡流状态下工作。
这种泵是一种使气体分子被吸附或凝结在泵的内表面上，从而减小了容器内的气体分子数目而达到抽气目的的真空泵，有以下几种型式。 1）吸附泵 它主要依靠具有大表面的吸附剂（如多孔物质）的物理吸附作用来抽气的一种捕集式真空泵。 2）吸气剂泵 它是一种利用吸气剂以化学结合方式捕获气体的真空泵。吸气剂通常是以块状或沉积新鲜薄膜形式存在的金属或合金。升华泵即属于这种型式。 3）吸气剂离子泵 它是使被电离的气体通过电磁场或电场的作用吸附在有吸气材料的表面上，以达到抽气的目的。它有如下几种型式。
