干式真空泵：它是一种泵内无油（液体）密封的变容真空泵。根据不同的配置，此类产品的极限真空一般为0.005 pa～100pa左右，主要用于抽除无油性气体的特殊工艺流程。如半导体、集成电路、微电子行业。罗茨真空泵：泵内装有两个反向同步旋转的双叶或多叶形的转子。转子间、转子与泵壳内壁间均保持一定的间隙。由于普通罗茨真空不能单独使用必须配备前级泵，可采用往复式真空泵、油封式真空泵、液环式真空泵等作为前级泵。
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因此罗茨真空泵可以使用在真空度为0.01 pa～5000pa左右的任何真空处理工艺上。一般对于可单独使用的真空泵，在单独使用时该真空泵就是主泵；对于罗茨真空泵机组而言，可分为主泵和前级泵，所谓主泵就是与系统直接相连的真空泵，通常罗茨真空泵为主泵，它在对系统抽真空时起主要作用。前级泵是指其进气口与主泵直接相连，排气口与大气直接相连的泵为前级泵，前级泵的作用是必须及时将主泵排出的气体抽掉并排入大气。
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