废气处理设备光催化氧化废气紫外光氧催化设备主要利用高能高臭氧的紫外光束作为催化反应条件来停止有 机废气的处理，而工业有 机废气处理中使用的紫外波长为154-254nm，波长越短能 量越大。在这个波长区域，由于154-185nm的波长相对较短，有 机废气处理响应的空间范围也较小，而184-254nm的能 量相对较小，但长波长有 机废气处理的空间范围相对较大。
废气紫外光氧化催化设备停止处理 有 机废气的光氧化机理包括两个过程:一是在产生高能离子群的过程中，一定数量的有害气体分子受到高能作用，合成为单质或转化为无害物质。二是含有大量高能粒子和高活性自由基的离子群与大分子气体(如苯、甲苯等)反应。)来打开它们分子内部的化学键，转化成无害的小分子物质。并且不会对设备和环境产生更多的不良影响。
紫外光氧化废气催化设备是一种中小型有 机废气处理设备，采用成熟的光氧化催化技术进行净化处理。目前，紫外光氧化催化设备广泛应用于食品、医药、化工、污水、废渣、塑料、喷涂、造纸、轮胎等行业的有 机废气处理。光催化和光化学是目前研究较多的高级氧化技术。所谓光催化反应，就是在光的作用下停止的化学反应。光化学反应需要分子吸收特定波长的电磁辐射，激发产生分子激发态，然后发生化学反应生成新的物质。
废气紫外光氧化催化设备在有 机废气处理中的应用还需要注意几个问题。一是裂解时间是否够1s，氧化反应时间能否达到5-8s；其次，如果供给的紫外光子总功率不足或含氧量不足，会因裂解不完全或氧化而产生一些中间副产物，影响净化效率。聚合物的有 机恶臭物质更明显；最后，紫外光氧催化设备长期稳定高效，需求响应温度低于60摄氏度，粉尘量低于100mg/m3，相对湿度低于97%。